薄膜プロセス工学研究室へようこそ
次世代薄膜形成技術による新材料の創出
薄膜プロセス工学研究室は、薄膜材料のさらなる高機能化と新素材の創出を目指し，プラズマを用いた薄膜・ナノ材料創製プロセスに関する研究を行っています．プラズマ中の「イオン」の動的特性を解明していく事で，材料の構成粒子を原子・分子レベルで精密に制御し，従来のプロセスでは形成が困難であった新規材料の創出とその産業化に向けて日々挑戦しています．
研究トピックス
プラズマ分析に基づいたプロセス設計と新規薄膜材料・ナノ材料の創出を目指して
本研究室は2020年度に東京都立大学機械システム工学科先端材料加工学研究室(楊研究室)から独立し
新しく設立された研究室です。これまで推進してきた機械システムにおける表面設計・表面機能の創出に関する研究を出発点として、革新的な薄膜プロセス開発を軸に数多くの産業分野に貢献して参りました。詳細につきましては、以下をご覧ください。
What’s NEW!!
学部3年生の皆さん向けの研究室説明会を開催します！(2022. 10.1)
10/12(水)および10/14(金)4限に日野キャンパス5号館108室で、薄膜プロセス研究室の見学会を開催します！奮ってご参加ください！
Daniel Lundin, Stephanos Konstantinidis両教授の特別講義を開催しました(2022. 9.17)
IVC22のために来日されたSweden Linkoping大Lundin先生およびBeligium Mons大Konstantinidis先生の特別講義を開催しました。
IVC-22にて森君、永倉君がStudent Awardを受賞しました！(2022. 9.15)
札幌にて開催された国際会議IVC-22にて、修士2年森幹太君、修士1年永倉颯君がそれぞれEBARA Student Prize, ULVAC student Prizeを受賞しました！
International Vacuum Congress(IVC-22)にて5件の講演発表を行います！(2022. 9.10)
2022年9月12日(月)～16日(金)に札幌にて開催される真空技術に関する国際会議IVC-22にて、修士2年森君、修士1年永倉君、服部さん、RA小宮さんと清水が講演発表を行います。
表面技術協会第146回講演大会＠埼玉工業大学にて3件の講演発表を行います(2022. 9.6)
2022年9月6日(火)・7日(水) に埼玉工業大学で開催される第146回講演大会にて、修士1年の加藤君、永倉君、服部さんの3名が講演発表を行います。
修士2年森君が2021年日本表面真空科学会学術講演会講演奨励賞を受賞しました！(2022. 2.9 )
昨年度秋に日本表面真空学会で発表をした「ホローカソード型大電力パルス放電プラズマの時間分解発光分光分析」に関する講演が講演奨励賞を受賞しました。