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製造技術分野

切削工具・プレス用金型の表面に要求される特性は年々過酷化をしてきています。1000℃を超える高温環境下において、高い面圧が負荷されても摩耗しない表面を実現するには、これまでの膜構造設計を打破する新しいコンセプトが要求されます。これまで本研究室では硬質窒化物薄膜を中心として、高温環境にも優れた耐熱性、耐摩耗性を有する高靭性膜の形成を目指した薄膜研究開発を進めています。

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HIPIMS deposition of TiAlN films on
inner wall of micro-dies and
its applicability in
micro-sheet metal forming

HiPIMS法による
マイクロ金型内面へのTiAlN硬質薄膜の成膜と
マイクロフォーミングへの適用

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Impact of pulse duration in
high power impulse magnetron sputtering on the low-temperature growth of
wurtzite phase (Ti,Al)N films
with high hardness

高硬度を有する六方晶TiAlN薄膜の低温薄膜成長に対するHiPIMSパルス周波数の影響

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Pressure dependence of (Ti, Al)N film growth on inner walls of small
holes in high-power impulse magnetron sputtering

HiPIMS法による微細孔内面に対する

TiAlN薄膜成長に対する圧力依存性

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Variation of local chemical compositions
of (Ti, Al)N films on inner wall of
small hole deposited by
high-power impulse magnetron sputtering

HiPIMS法により微細孔内面に成膜した

TiAlN薄膜の局所的化学組成の変化

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